Ионно-лучевые технологии

1. Модификация свойств поверхности металлических пленочных структур.

- Влияние облучения ионами кислорода на магнитооптические параметры феppит-гpанатов.

- Висмут-тулиевые фиррит-гранатовые пленки высокого разрешения по магнитному полю.

- Исследование лучевой прочности диэлектрических покрытий в системе SiO_2d±–b–BaB₂O₄.

- Влияние низкоэнергетического ионного облучения на свойства пленок CoCu.

- Низкотемпературное окисление пленок СoCu длительным облучением пучком ионов кислорода.

- Нелокальные изменения в электроосажденных пленках СоР при ионном облучении низкоэнергетическими ионами аргона и кислорода.

- Особенности перераспределения кобальта по поверхности пленок неоднородных сплавов кобальт-медь

- Улучшение сверхпроводящих параметров пленок yba₂cu₃o_7-x при низкоэнергетическом облучении ионами кислорода

2. Ионно-лучевой метод формирования тонкопленочных структур.

- Неэпитаксиальное выращивание оксидных пленок.

- Получение методом ионно-лучевого распыления и оптические свойства полупрозрачных пленок серебра.

- Метод оценки толщины ультратонких пленок

- Метод контроля наноразмерной толщины бислойных пленочных структур.

- Получение методом ионно-лучевого распыления кислородом и оптические свойства ультратонких пленок золота

3. Ионно-лучевое полирование поверхности.

- Ионно-лучевое полирование наноразмерного рельефа поверхности оптических материалов.
- Сглаживание уединенного интерфейса кобальт-медь облучением потоком низкоэнергетических ионов аргона.
- Метод оценки толщины ультратонких пленок.

4. Ионно-лучевая обработка структур на основе материалов А₃В₅.

- Features of reactive ion-beam etching of GaN using O₂+Ar working gas.

- Ионно-лучевая установка для прецизионного анизотропного травления гетероструктур на основе материалов А₃В₅

5. Ионно-лучевое травление слоев полиимида. 

- О формировании объемных элементов микроэлектромеханических систем в полиимиде методом реактивного ионно-лучевого травления

6. Трансформация морфологии наноостровков германия.

- О неоднородном характере начальной стадии ионно-лучевого осаждения ультратонких пленок золота

- Изменение формы крупных наноостровков германия на поверхности кремния путем облучения медленными ионами

- Об удалении с поверхности кремния (001) наноостровков германия пирамидальной формы после ионно-лучевого осаждения–распыления нанослоя золота.