1. Двухкаскадный самостоятельный разряд низкого давления без магнитного поля.
2. Формирование пучка однородной плотности в источнике ионов холловского типа с открытым торцом.
1. Двухкаскадная кислородная плазма низкого давления в
источнике ионов с полым холодным катодом (видеофильм)
2. Источник ионов с открытым торцом (видеофильм)
3. СВЧ-установка очистки (видеофильм