Источники ионов

1. Шиpокоапеpтуpный источник ионов реактивных газов.

2. Миниатюрный зонд-энергоанализатор.

3. Широкоапертурный источник ионов кислорода с холодным полым катодом и магнитными мультиполями

4. Teхнологические широкоапертурные источники ионов кислорода с холодным полым катодом.

5. Низкоэнергетичный газоразрядный источник ионов с открытым торцом.

6. Формирование пучка равномерной плотности в холловском ионном источнике с открытым торцом

7. Источник ионов с открытым торцом и анодом малой площади.

Типоряд широкоапертурных источников ионов. (видеофильм)

Источник ионов с открытым торцом. (видеофильм)

Настольный прибор СВЧ-плазменной очистки. (видеофильм)

Газоразрядный источник ионов низкого давления с полым катодом
и диаметромвыходной апертуры 420 мм