- Ионно-лучевая установка для получения оксидных пленок.
- Ионно-лучевая установка выравнивания поверхности оксидных материалов.
- Ионно-лучевая установка для прецизионного анизотропного травления гетероструктур на основе материалов а3в5.
- Лабораторный генератор с.в.ч.–плазмы для обработки поверхностей.